拋光液的運(yùn)輸及保存
1、運(yùn)輸與存放溫度為5ºC～50ºC。存放時(shí)應(yīng)避光，以避免漿料變質(zhì)。
2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。
3、避免金屬、顆粒污染，避免與強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。
拋光液在拋光中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比，均能達(dá)到最佳使用效果。與美國和日本的同類產(chǎn)品相比，該產(chǎn)品采用無金屬離子、易溶于水的螯合劑，有效控制晶片表面的各種沾污，主要參數(shù)指標(biāo)上均能滿足IC要求。
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